任何扫描电子显微镜(SEM)变换为纳米级制造的电子束光刻系统

System features:

高速图形发生器,包括2个16位DAC控制电子束移动位置和一个8位ADC进行图像采集
PCIe 卡进行电脑控制
能和 SEM, EBL,FIB
可以对电子束阀进行控制,甚至不用电子束阀。
软件基于 (OS Windows™ 2000, XP or 7)
提供 :
     设计 2D/3D 结构
     2D/3D 邻近效应修正
     模拟刻蚀结果图案
     曝光和图像采集过程中补偿畸变

 

该软件提供了三种基本功能

曝光数据准备
     内置图形编辑器设计结构
     邻近效应修正
     曝光和抗蚀造型设计
     数据输入输出 (GDSII, DXF, ELM, NME, BMP, TIFF...)
     特殊数据处理 (Union,Overlaps Out, Dose Stratification, Negative, Dividing, Frame etc.) 以满足特殊要求
     曝光控制
     可变曝光时间来进行邻近修正
     电子束与移动平台同步
    «On-the-fly» 补偿动态延误以及失真来提高写入速 视频控制对准以及系统调整
     通过一组标记窗口来对齐连续曝光
     测量和软件补偿扫描系统误差和移动平台
     数字显微镜模式,包括帧的编辑,图像采集,图像处理等。
应用领域整
     微电子
     纳米技术
     3D 微纳米结构
    可见光和X射线的衍射光学元件(合成全息图),包括全息图
    数字显微镜

Elli30 PCIe Pattern Generator

是一种先进的数据采集产品,高速数字 - 模拟寻址能力和模拟 - 数字转换采样结合来提高抗干扰能力。

图形发生器解决方案包括
     板卡提供数据总线卡槽
     模拟控件提供独立电源
     2 米光缆
     接口电缆
     软件适用于 OS Windows 2000, XP, 7 模拟机退耦电路结构,数字板通过光纤电连接到电脑,提供高速防噪数据传输。 图形发生器主板包括
     2个 16-bit 数字模拟转换器(50 MHz DACs)
     1个 8-bit(ADC) 模拟数字转换器
     电子束阀开((TTL output level)
     内部/外部扫描模式开关(TTL output level)
Output XY DACs and input ADC voltages can be tuned for arbitrary intervals in ±10.0 V range.

 

Elli30 PCIe Pattern Generator

Time characteristics of the Pattern Generator

Minimal exposure dwell time 50 ns (20 MHz)
Dwell Time resolution 10 ns (100 MHz)
On-board image accumulation (per accumulation cycle) 50 ns (20 MHz)
Minimal image acquisition time
(time of XY DACs addressing + transferring of ADC signal) 0.8 µs
(implying 12 accumulation cycles)